一、有关请购之量测 High Pressure Gas Particle counter 注意事项
何种机型适合量测何种气体??
2100C/237H/3400/2400/227/HHPC2- 6/237 for PAr, CDA, GN2, PN2
CNC1104 for PAr, CDA, GN2, PN2
CNC1107 for H2, O2 inert gas
二、Sampleing Flowrate 需要 1.0 CFM 此大之耗量?
在相同的取样本积下HPC-101取样时间为MetOne2100的10倍
PMS需花10mins 才能知道完整的Data, MetOne2100只需1mins
最少的损耗,快速即时的了解目前CDA的状况。
三、Vacuum-Pump之作用为何?
是较新的设计, 与碳刷式PUMP不同的地方在于此设计在运转时不会产生Particals污染环境,
四、请提供管路配置之流程图及注意事项?
注意压力是否有到达规定 30~150 Psi
五、放置环境条件有无限制?
Environment Operating 55 to 84°F (12 to 29°C),
20 to 95% relative humidity, non-condensing
Storage -40 to 140°F (-40 to 60°C),
up to 98% relative humidity, non-condensing
接CDA量测露点电 –70度 , 没问题
若需用ParticleCounter量测环境时, 只需将HPD从Particle Counter拆卸即可, 再用Particle Counter 量测Cleanroom(Class1~100)环境
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