洁净室(区) clean room(zone)
对尘埃及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。其建筑结构，装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入，产生和滞留的功能。其他相关参数诸如：温度、湿度、压力也有必要的控制。
局部空气净化 localized air purification
仅使室内工作区域或特定的局部空间的空气中含尘埃粒子浓度达到规定的空气洁净度级别的方式。
单向流 unidirectional ariflow
沿单一方向呈平行流线并且与气流方向垂直的断面上风速均匀的所流。与水平面垂直的叫垂直单向流（vertical unidirectonal airflow),与水平面平行的叫水平单向流（horizontal unidirectional airflow)。
非单向流 non-unidirectional airflow
具有多个通路循环特性或气流方向不平行的气流
悬浮粒子 airborne particle
用于空气洁净度分级的空气尘埃粒子尺寸范围在0.1μm~1000μm的固体和液体粒子。对于尘埃粒子计数测量仪，一个微粒球的面积或体积产生一个响影应值，不同的响应值等价于不同的微粒直径。
洁净度 cleanliness
洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径尘埃粒子的统计数量来区分的洁净程度。
置信上限（95%UCL) upper confidence limit
从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度(此处为95%)计算得到的估计上限将大于此实际均值,则称计算得到的这一均值估计上限为置信上限。
空态 as-bulit
洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，但是没有生产设备、原材料或人员的状态。
静态 at-rest
静态a：洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，生产工艺设备已安装、洁净室（区）内没有生产人员的状态。
静态b：洁净室（区）在生产操作全部结束，生产操作人员撤离现场并经过20 min自净后。
动态 operational
洁争室（区）已处于正常的生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。
洁净工作台 clean bench
一种工作台或者与之类似的一个封闭围档工作区。其特点是自身能够供给经过过滤的空气或气体，按气流形式分为垂直单向流工作台，水平单向流工作台等。
(本文来源/洁净室)