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分辨率:0.01ppb
准确度:<1%或0.03ppb,以碳计,取大者
重现性:测量数值的±5%
检测限:0.03ppb
测量范围:0.03ppb-2500ppb
检测原理:薄膜电导率探测
氧化方法:紫外光氧化
仪器种类:在线监测TOC
Sievers 500 RLe 在线型TOC分析仪用于微电子、半导体、显示器及太阳电池板的生产中,代表了微电子应用中超低水平TOC科学检测的最新进步。500 RLe 替代了Sievers PPT 型号,是行业中唯一的在线型、无试剂的TOC分析仪,能够准确检测问题化合物,如尿素、三甲胺、有机酸与有机碱。
500 RLe 采用GE 分析仪器公司的膜电导技术, 结合其他简化的TOC技术,消除“假正”与“假负”的读数,实现超低水平TOC测定的准确性与可靠性。