洁净区悬浮粒子监测标准操作规程

1. 目的：为规范洁净区尘埃粒子检测标准操作规程。

2. 范围：适用于洁净区尘埃粒子检测的操作。
3. 责任：QA洁净度监测人员。
4. 程序：
4.1概述：洁净区悬浮粒子监测采用计数浓度法，既通过测定洁净区环境内单位体积空气中
含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。
4.2仪器：Y09-9型激光尘埃粒子计数器。
4.3监测原理：空气中悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒子的表面
积成正比。
4.4.1 测试规则
4.4.1.1 洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～
26℃，相对湿度控制在45%～65%之间为宜）。
4.4.1.2 压差：空气洁净度不同的洁净室（洁净区）之间的压差应≤5 Pa ，空气洁净度级别要求高的洁净室（洁净区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（洁净区）一般呈相对正压。
4.4.2   测试状态
4.4.2.1  静态测试和动态测试
静态测试时，室内测试人员不得多于2人。测试报告见厂房洁净度悬浮粒子监测记录表。
动态测试指洁净室已处于正常状态下的测试。
4.4.3 测试时间
测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。
4.4.4 悬浮粒子计数
4.4.4.1 采样点数目及其布置
最少采样点数目，悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目见下表1。
表 1    最少采样点数目

面积S m2	洁净度级别
面积S m2	100	100000	300000
S＜10	2～3	2	2
10≤S＜20	4	2	2
20≤S＜40	8	2	2
40≤S＜100	16	2	2
100≤S＜200	40	3	3
注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对非单向流洁净室，指的是房间面积。

4.4.4.1.1 采样点的位置
a) 采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。
b) 采样点多于5点时，也可以在离地面0.8m—1.5m高度的区域内分层布置，但每层不少
于5点。
c) 采样点的布置还可根据需要在生产及工艺关键操作区增加采样点。
4.4.4.2 对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不
得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。
4.4.4.3 采样量：不同洁净度级别每次最小的采样量见表2。
表2    每次最小采样量

洁净度级别	采样量，L/次
洁净度级别	≥0.5μm	≥5μm
100	5.66	----
10000	2.83	8.5
100000	2.83	8.5
300000	2.83	8.5

4.4.4.4 采样注意事项：
a) 采样管口宜向上。
b) 布置采样点时，应避开回风口。
c) 采样时，测试人员应在采样口的下风侧。
4.5.1 结果计算
悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算：
4.5.1.1 采样点的粒子浓度

  式中：C1———某一采样点的粒子浓度，粒/m3；
        C0———某一采样点的粒子浓度（仪器读数），粒/L；
4.5.1.2 采样点的平均粒子浓度

   式中：A———某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；
         Ci———某一采样点的粒子浓度（i=1，2，…，n），粒/m3；
         N———某一采样点上的采样次数，次。

4.5.1.3 平均值的均值

   式中：M———平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒/m3；
         Ai———某一采样点的平均粒子浓度（i=1，2，…，L），粒/m3；
         L———某一洁净室（区）内的总采样点数，个。
4.6  结果评定
判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述条件：
4.6.1 洁净室（区）空气洁净度级别表

洁净度级别	尘粒最大允许数/立方米
洁净度级别	≥0.5μm	≥5μm
100级	3，500	0
10000级	350，000	2，000
100000级	3，500，000	20，000
300000级	10，500，000	60，000

4.6.2 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限。

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