如何确保洁净室压差的稳定性

确保洁净室的压差:

1）风量平衡风量分配的精准性；

2）压力梯度的合理性；

3）风口布局，房间的密闭性；

4）系统调整、测试的严谨性。

1）除回风支立管上的风阀，回风墙上的风口最好配有暗藏式手动对开多页调节阀，便于风量分配和压差整定。

2）回风百叶建议选用门铰式的，便于更换回风口过滤器（若设计有过滤器）。

3）回风墙的密闭措施要到位，不应有非密封的罅隙影响气流组织。

4）压差设计以满足工艺需要为前提。且不得低于规范标准之要求，因为规范是最起码的要求。

总而言之，洁净室最终为工艺服务，细节上要多结合生产工艺进行处理，才能有品质的保证。