粒子计数器可以用于测量洁净环境单位体积空气内定的尘埃粒子大小及数目，它是显微镜发展而来，经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、PCS纳米激光空气粒子计数器的过程，
粒子计数可采用激光粒子计数器或凝聚核粒子计数器。粒子计数器，可分析气体中011μm粒径的颗粒杂质;可分析0105μm粒径颗粒杂质，目前已有可检测超高纯气中01005μm的粒子计数器。粒计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器。一定流量的含尘气体通过一束强光，使粒子发射出散射光，经过聚光透镜投射到光电倍增管上，将光脉冲变为电脉冲，由脉冲数求得颗粒数。根据粒子散射光的强度与粒径的函数关系得出粒子直径。粒子计数器是高纯或超高纯供气系统中必不可缺的仪器。价格较昂贵。
尘埃粒子计数器的注意事项：
1、没有高压减压设备(如高压扩散器)不要取样压缩空气，所有的粒子计数器被设计用于在一个大气压下操作。
2、当入口管被盖住或被堵塞，不要启动计数仪
3、不要测有可能产生反应的混合气体(如氢气和氧气)。这此气体也可能在计数器内产生爆炸。测这些气体需与厂家联系为取得更多的信息。